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열물성 분석 제품

적외선가열로 · RTA장치

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간이형 적외선램프가열장치 SSA시리즈

■ Simplified Infrared Lamp Heating System SSA series   적외선 골드 이미지로와 석영 챔버의 간이형 장비. 적외선 골드 이미지로 및 시료 홀더를 포함한 석영 챔버로 구성된 저렴한 가열 시스템입니다. A simplified system with an Infrared Gold Image Furnace and a quartz chamber. A low-cost heating system consist of an Infrared Golc Image Furnace and quartz chamber including a sample holder.   ​■ 용도 화합물 반도체 Alloying Si, 화합물 반도체의 RTA 세라믹 기판 위에 적층 재료의 소성로 유리・세라믹 기판의 어닐링 로 Alloying of compound semiconductors RTA of Si, compound semiconductors Baking furnace for laminating materials on ceramic substrates Annealing furnace for glass and ceramic substrates   ■ 특징 석영 챔버는 가스flow 타입 또는 진공 타입을 선택 가능 (표준은 가스flow 타입) 옵션으로 가스flow 타입 및 진공 타입을 모두 동시에 선택 가능 As for the quartz chamber, gas flow type or vacuum type can be selectable (standard is gas flow type) As option, combination of both types is possible. ■ 사양  모델 SSA-E45P  SSA-E410P  SSA-P610CP  온도 범위 실온 ~ 1400 ℃ (MAX)  실온 ~ 1400 ℃ (MAX)  실온 ~ 1200 ℃ (MAX) 열처리 영역 φ15mm × 50mmL  φ15mm × 100mmL  φ50mm × 100mmL  균열 영역 (유지시 기준) φ10mm ~ 40mmL  φ10mm × 80mmL  φ40mm × 80mmL  측정 분위기 가스 플로 중, 진공 중, 대기  어플리케이션 로터리 펌프 배기 세트 냉각수 순환 장치