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나노입자 박막형성

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승화정제장치 TRS시리즈

유기 재료의 승화 정제 Sublimation purification of organic materials
Arc-Plasma법 나노입자형성장치 APD시리즈

펄스 진공 아크 방전을 이용한 새로운 나노 입자 형성장치입니다. 펄스 진공 아크 증착은, 심플한 공정으로 금속 이온을 생성하고, 초박막이나 나노 입자를 형성하는 유일한 방법입니다. 미립자의 형성 등 다른 증착법으로는 얻을 수 없는 효과를 발휘합니다.
딥코터 N시리즈

1nm / sec 타입. 나노 입자 배열 등에 적합한 모델입니다. 바람막이, 각도 조절 기능을 표준 일체화했습니다.
딥코터 M시리즈

1μm/sec ~ 40mm/sec 타입. 폭 넓은 범위에서 연구용부터 샘플 출하를 위한 세미 생산기까지 대응 가능합니다.
딥코터 F시리즈

0.1mm / sec 타입. 표준장치로서 스트로크가 525mm로 대형 워크에 대응이 가능한 타입입니다.