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나노입자박막형성

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아크 플라즈마 방전을 이용하여 금속 입자를 증착 또는 담지 할 수 있습니다.
그 기술을 이용하여 연료 전지의 활성 촉매로 이용이나 다층막 등 다양한 용도로 이용이 가능합니다.

분말에 나노입자담지 기판에 나노박막형성

펄스 아크 증착은 심플한 프로세스로서 금속 이온을 생성하고 초박막이나 나노 입자를 형성하는 유일한 방법입니다.
막의 평탄성, 미립자의 형성 등 다른 증착법으로는 얻을 수 없는 효과를 얻을 수 있습니다.

나노 입자 형성 나노 입자 크기 분말 재질, 크기 분말 용량
1 ~ 20nm 전도체 금속
(융점 150 ℃ 이상) 반도체 		카본, 알루미나,
실리카 등 10μm ~ 약 1mm 		15 ~ 30cc
기판 박막 증착 재료 두께 기판 사이즈
전도체 금속
(융점 150 ℃ 이상) 반도체		 1 ~ 100nm
(조건에 따라 μm도 가능)		 최대 φ2 인치 이하의 부정형 형상

해당제품소개

아크플라즈마법 나노입자형성장치 APD