■ Mini Lamp Annealer with air-cooling system MILA-700AR
냉각수를 사용하지 않는 탁상형 램프가열장치.
냉각은 공랭식 팬 채택으로 콘센트만 있으면 즉시 가열할 수 있습니다.
Mini Lamp Annealer with no use of cooling water.
As the cooling method is air-cooling with a fan, the heating operations can be easily started with just a wall outlet.
 
- 웨이퍼, 화합물 웨이퍼의 고속가열
 
- 광 CVD 기판가열
 
- 온도 사이클 시험
 
- 코팅 막의 내열성 평가
 
- 유기 재료, 수지류의 가열 건조
 
- High-speed heating of wafers, compound wafers
 
- Photo CVD substrate heating
 
- Thermal cycle tests
 
- Heat resistance evaluations of coating films
 
- Heating and drying of organic materials and resins
 
 
■ 특징
- 50 ℃/s의 고속가열
 
- 진공, 가스, 가스 flow, 대기중 및 임의의 분위기 선택
 
- 정밀한 온도 컨트롤
 
- 탁상형 컴팩트 디자인
 
- 50 °C/s high-speed heating
 
- Selectable atmosphere: vacuum, gas, gas flow, air
 
- Precise temperature control
 
- Compact, table-top design
 
 
■ 사양 
 
  
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  모델    |   
  
  MILA-700AR    |  
 
  
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  온도 범위    |   
  
  실온 ~ 700 ℃    |  
 
  
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  램프    |   
  
  25℃ / sec    |  
 
  
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  시료 치수    |   
  
  사각 20mm × 두께 2mm    |  
 
  
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  측정 분위기    |   
  
  대기, 진공, 가스flow    |  
 
  
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  어플리케이션    |   
  
  진공배기장치 (로터리 펌프 세트)    |