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열물성 분석 제품

적외선가열로 · RTA장치

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분위기가변형 램프가열장치 VHC시리즈

태양 전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 적합합니다.
VHC 시리즈는 QHC 시리즈 기능과 더불어 진공배기시스템 및 피라니 진공계를 갖추고 있습니다.
가열조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다.
고객의 요구에 맞게 개조 가능합니다.
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■ Variable Atmosphere Lamp Heating System VHC series

 

태양 전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 적합합니다.
VHC 시리즈는 QHC 시리즈 기능과 더불어 진공배기시스템 및 피라니 진공계를 갖추고 있습니다.
가열조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다.

고객의 요구에 맞게 개조 가능합니다.

 

For process development from solar cells to compound semiconductors.

The VHC series is equipped with vacuum pump system and Pirani vacuum gauge as well as the features of QHC series.

Heating operations can be performed on a PC and data can be easily managed.

The system can also be customized according to customers' needs.

 

■ 용도

  • 태양 전지 기판의 열 처리
  • 수소 분위기에서 열 처리
  • 각종 재료의 기초연구용 분위기 어닐링, 열처리 시뮬레이터
  • 가스 퀜칭 열처리
  • 열 사이클 시험 열 충격 시험
  • ​반도체 재료의 소성, 어닐링 조건 검토
  • 2 인치 웨이퍼 연구용 어닐링
  • 세라믹의 O2량 제어 분위기에서 열처리​

 

  • Heat treatments of solar cell substrates
  • Heat treatments in a hydrogen atmosphere
  • Atmosphere annealing and heat treatment simulations for basic research into various materials
  • Gas quenching heat treatments
  • Thermal cycle tests, thermal shock tests
  • Reviewing baking and annealing conditions for semiconductor materials
  • Annealing for 2-inch wafer research
  • Heat treatments of ceramics in an oxygen volume controlled atmosphere

 

■ 특징

  • 고속 가열에서 저속 가열까지 다양 한 조건 설정
  • 다층 스텝 사이클 가열
  • 가스 냉각 기구에의한 고속 가스퀜칭, 냉각 제어
  • 컴퓨터에 의한 손쉬운 데이터 관리

 

  • Configure broad conditions from high-speed heating to low-speed heating
  • Multiple steps Cycled heating
  • High-speed gas quenching and cooling control by gas cooling mechanism
  • Easy data management by PC

 

■ 사양

 모델

 VHC-E410

 VHC-P610

 VHC-P616

 온도 범위

 실온 ~ 1400 ℃

 실온 ~ 1200 ℃

 실온 ~ 1200 ℃

 시료 치수

 φ15mm × 길이 100mm

 φ50mm × 길이 100mm

 φ50mm × 길이 150mm

 균열 영역 (유지시 기준)

 φ10mm × 80mmL

 φ50mm × 길이 100mm

 φ40mm × 120mmL

 측정 분위기

 대기, 가스 중, 진공 (진공 배기계는 옵션)

 응용 프로그램

 로터리 펌프 배기 세트 
냉각수 순환 장치 
특수 사양 장치로 고진공 대응도 가능