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열물성 분석 제품

적외선가열로 · RTA장치

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적외선램프가열장치 RTP-mini

Infrared lamp heating system
소형 칩, 2, 4, 6인치까지의 박판 웨이퍼의 고속가열
전용 프로그램 소프트웨어로 온도 레시피를 간편입력
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Infrared lamp heating system​

RTP-mini


적외선 램프 가열 장치 RTP-mini 이미지

본 장치는 기존의 적외선 가열 장치 RTP-6를 컴팩트한 탁상형으로 만든 장치입니다.
기존의 열 배기 유닛을 제거하고, 냉각 팬을 도입함으로써, 효율적인 냉각과 소음 감소로 저소음 가열을 실현했습니다.

특징

  • 소형 칩, 2, 4, 6인치까지의 박판 웨이퍼의 고속 가열할 수 있음
  • 전용 프로그램 소프트웨어로 온도 레시피를 간편하게 입력
  • 냉각팬으로 인한 소음을 대폭 감소시킴
  • 냉각수 플로우 체커를 설치하여 안전 대책을 실현
  • 공정 가스(N2 가스 )용 질량 유량 컨트롤러 포함
  • PLC, 온도 조절기, 터치 패널, 과승 온도 등, 제어시스템에 충실

사양

온도 범위RT～1000℃  Max.1100℃
샘플 크기표준 φ6 인치 웨이퍼 1장( 기타 웨이퍼 형상은 별도 상담)
분위기N2 가스 플로우 중, 진공 중(진공 배기 장치는 옵션)
최대 가열 속도10℃/s (SiC 코팅 카본 서셉터 사용)
균열 정밀도ΔT＝10℃ 800℃ 유지시 2분 후, N2 가스 플로우 중(SiC 코팅 카본 서셉터 사용)
제어 센서열전대 JIS-K

유틸리티

장비 크기약 W600 × D660 × H780 (mm)
무게약 100kg
필요한 전원삼상 AC200V, 100A
필요한 냉각수16L/min 이상, 0.3MPa 이상, 0.4MPa 이하(압력은 설치 환경에 따라 달라집니다)
냉각수 결합φ19×φ26 테트론 블레이드 호스용 캔터치 피팅
진공 포트KF-16 

계통도

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