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열물성 분석 제품

열분석 평가장치

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초고정밀 레이저 열팽창계 SuperLIX

1×10 -8 /K 이하의 팽창 정밀도. 세계 최고 초고정도 열팽창 측정
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 초고정밀 레이저 열팽창계 SuperLIX  ​​


 

Ultra High Precision Thermal Expansion Measurement System by Laser Interferometer
SuperLIX


超高精度レーザ熱膨張計 SuperLIXイメージ

 

 

 

1×10 -8 /K 이하의 팽창 정밀도

세계 최고봉의 초고정도 열팽창 측정  ※시판 양산형 계측 장치로서


< 용도 사례 >

  • 제로 팽창 재료 개발
  • 음극 음열 팽창 재료 개발
  • 표준 재료 개발
  • 액추에이터 재료 개발
  • Development of zero-expansion materials
  • Development of negative thermal expansion material and anode materials
  • Development of standard materials
  • Development of materials for actuator

용도

  • 10-8 / K레벨의 극저팽창율 재료(유리, 세라믹스, 금속 등)의 고정밀도 팽창 측정
    -반도체 생산에 있어서의 노광에 관한 부품의 측정
    -정밀 스테이지 부품의 측정
    -항공 우주 관계 고정밀도 요구 재료의 측정
    -고정도 포토그램 기판용 부재의 측정
  • 낮은 팽창률 재료의 품질 관리
  • High-precision dilatometry of materials with extremely low expansion rate such as 10-8/K
    (glasses, ceramics, metal, etc.)​
​・ Spare parts of lithography system for semiconductor production
・ Spare parts of precision stage
・ Materials requiring high accuracy such as for aerospace industries
・ Materials for highly precise photogram substrate
  • Quality control of low expansion materials

특징

  • 장치 내부에 제진 메카니즘을 내포함으로써 진동 외란의 영향을 방지할 수 있으며,  
​    일반적인 분석용 전자천칭(분해능 0.01mg)을​ 안정적으로 사용할 수 있는 정도의 환경에서 측정할 수 있습니다. 
  • 레이저 파장(632.8nm)을 기준으로 시료의 변위량을 측정합니다. 광학 소자를 일체화하는 것으로 미광을 배제할 수 있어 
    간섭 줄무늬 신호의 S/N비가 향상하고 있습니다. 특별한 변위 교정을 위한 측정이나 조작은 필요하지 않습니다.
  • 간섭 줄무늬를 이미지 센서로 검출하여 화상 처리함으로써 시료 측정 중에도 변위(팽창·수축)량을 
​   고분해능으로 산출하여 팽창률을 확인할 수 있습니다.

사양

모델 형식SuperLIX-R
온도 범위표준형 5~50℃(고정도 항온 순환 시스템 사용)
샘플 치수φ5 또는 □5±0.5mm×길이 20mm(표준 시료 치수 φ5×20mmL, 표준 시료로서 단면 R가공)
측정 분위기감압 He 분위기
측정 방법

이중 광로식 마이클슨형 레이저 간섭 방식

(Dual path Michelson laser interferometry​)

유틸리티

설치 바닥 면적약 1200㎜(W)×760㎜(D)×1600mm(H)
※챔버 분리시 2500mm(H) 이상 스페이스가 필요합니다
필요한 전원PC(모니터, 본체): AC100V 15A(콘센트, 어스 부착) 2개소
배기계 : AC200V 삼상 15A 1개소
가스 도입계 : AC100V 단상 15A 1개소
항온수 순환기 : AC100V 15A(콘센트, 어스 부착) 1개소
필요한 접지D종(접지저항 100Ω 이하) 1개소

측정 예

 

Measurement of low expansion ceramics

 

 

Measurement of metal(super-invar)

 

특허 및 표준

JIS R3251-1990 준수 

    일본 특허출원 2016-058190, 058191, 058192