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열물성 분석 제품

가스분석장치

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승온 탈가스 분석장치 TDS-M202R

고진공 10-5 Pa에서 질량 분석 측정 가능.
적외선램프가열로 인한 석영제 반응관은 Cold wall로서 방출 가스가 거의 없습니다.
고속가열에서 저속가열까지 다양한 설정 범위를 가지고 다단 스텝가열 또는 사이클 가열가능.
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■ Temperature-Programmed Desorption Gas Analyzer TDS-M202R

 

질량분석계를 사용하여 탈가스의 정성 분석에 적외선골드이미지로에 의해 시료를 승온하면서

시료 온도와 방출가스의 관계를 4중 극형질량분석계에서 분석합니다.

 

For qualitative analysis of desorption gas using a mass spectrometer.

While increasing the temperature of the sample with an Infrared Gold Image Furnace, the relationship between the sample temperature and the emitted gas is analyzed with a quadrupole mass analyzer.

​

■ 용도

진공 그리스, O-링 등의 다양한 진공 재료의 평가

반도체 웨이퍼, 칩 평가

합금, 세라믹, 고체 재료의 미량가스 분석

Evaluation of various kinds of vacuum materials like vacuum grease and O-ring

Evaluation of semiconductor wafer and chip

Analysis of small amount of gas contained in alloy, ceramics and solid-state materials

 

■ 특징

고진공 10-5 Pa에서 질량 분석 측정 가능.

적외선램프가열로 인한 석영제 반응관은 Cold wall로서 방출 가스가 거의 없습니다.

고속가열에서 저속가열까지 다양한 설정 범위를 가지고 다단 스텝가열 또는 사이클 가열이 가능.

Capable of mass spectrometry measurements at a 10-5 Pa level high vacuum.

With infrared lamp heating, the quartz reaction tube has almost no emitted gas at the cold wall.

Can be broadly configured from high-speed heating to low-speed heating and is capable of multi-step heating and cycle heating. 

 

■ 사양 

모델

TDS-M202R

측정물성

정성 가스분석

표시

실온 ~ 1000 ℃ (MAX1200 ℃)

 시료 크기

 20mm 사각 × 2mmH

 측정 분위기

 진공