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2ω법 나노박막열전도율계 TCN-2ω

간단히 나노 박막의 열전도율 평가 가능
2ω측정에 있어서 나노박막의 두께방향의 열전도율 측정하는 세계에서 유일한 장치입니다.
다른 방식과 비교해서 시료의 제작 및 측정방식을 간단하게 할 수 있습니다.
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■ 2-Omega Method Nano Thin Film Thermal Conductivity Meter TCN-2ω

 

Capable of easily evaluating thermal conductivity of nano-thin films.

The world's only commercially available system to measure thermal conductivity of nano-thin films in the thickness direction in 2-omega measurements. Compared to other methods, samples can be easily created and the measurement method can be easily performed.


■ 용도

  • 열설계에 필요한 박막의 열전도율 평가에 최적 (반도체디바이스 막,  유기계 박막 · Low-k막 )
  • 열전변환재료 박막의 평가도 가능
  • Optimal for evaluating the thermal conductivity of thin films required for thermal designs.
    • Semiconductor device films
    • Organic thin films
    • Low-k films
  • ​Also capable of evaluating thermoelectric conversion material thin films.

 

■ 특징

  • 나노 박막의 열전도율을 평가
  • 시료 준비가 간단
  • Evaluates the thermal conductivity of nano-scale thin films
  • Easy sample preparation

 

■ 특허 및 표준​

  • ​Measurement method of thermophysical properties (Japan Patent No.5426115)

 

■ 사양

모델

 TCN-2ω

항목

 열전도율

온도범위

 실온

측정분위기

 진공

시료크기

 10mmW × 20mmL, 절연막 두께 20 ~ 1000nm,  기판 두께 0.5 ~ 1mm