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다양한 열전재료의 특성 및 박막 등의 특수 사양에 대응하는 시리즈.
고온, 고저항, 박막 등의 각종 재료의 특징에 특화된 사양으로, 다양한 요구에 부응하는 열전특성평가장치입니다.

■ Seebeck Coefficient / Electric Resistance Measurement System ZEM-5 series

다양한 열전재료의 특성 및 박막 등의 특수사양에 대응하는 시리즈.

고온, 고저항, 박막 등의 각종 재료의 특징에 특화된 사양으로, 다양한 요구에 부응하는 열전특성평가장치입니다.

■ 용도

반도체계, 세라믹계, 금속계 등 다양한 재료의 열전특성 평가

Evaluate the thermoelectric properties of a wide variety of materials including semiconductors, ceramics, and metals.

■ 특징

다양한 열전 재료의 특징과 박막 등의 특수 사양에 대응하는 시리즈

온도 감지 센서에 C 열전대를 사용하여 Si계 열전재료 (SiGe, MgSi 등) 평가에 최적(HT 타입)

저항의 접촉을 자가 진단하는 V/I 플롯을 표준장착

최대 1200 ℃까지 측정 가능 (HT 타입)

최대 10MΩ의 고저항에 대응 (HR 타입)

기판에 성막한 재료의 측정 가능 (TF 타입)

-150℃ ~ 200℃의 온도 제어 (LT 타입)

■ 사양

모델	ZEM-5HT	ZEM-5HR	ZEM-5LT	ZEM-5TF
측정물성	제백 계수, 전기 저항
온도범위	100 ~ 1200℃	100 ~ 800℃	-150 ~ 200℃	50 ~ 500℃
시료크기	사각 2~4mm 또는 φ2 ~ 4mm × 길이 3 ~ 15mm			성막기판 : 폭2~4mm 두께0.4 ~1.2mm 길이 20mm 박막두께 : nm오더 이상 ※샘플 막과 기판 사이 절연층 필요
측정분위기	저압 He 가스
어플리케이션	냉각수순환장치 특수 목적의 커스터마이즈도 대응 가능