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태양 전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 적합합니다.
VHC 시리즈는 QHC 시리즈 기능과 더불어 진공배기시스템 및 피라니 진공계를 갖추고 있습니다.
가열조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다.
고객의 요구에 맞게 개조 가능합니다.

■ Variable Atmosphere Lamp Heating System VHC series

태양 전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 적합합니다.
VHC 시리즈는 QHC 시리즈 기능과 더불어 진공배기시스템 및 피라니 진공계를 갖추고 있습니다.
가열조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다.

고객의 요구에 맞게 개조 가능합니다.

For process development from solar cells to compound semiconductors.

The VHC series is equipped with vacuum pump system and Pirani vacuum gauge as well as the features of QHC series.

Heating operations can be performed on a PC and data can be easily managed.

The system can also be customized according to customers' needs.

■ 용도

Heat treatments of solar cell substrates
Heat treatments in a hydrogen atmosphere
Atmosphere annealing and heat treatment simulations for basic research into various materials
Gas quenching heat treatments
Thermal cycle tests, thermal shock tests
Reviewing baking and annealing conditions for semiconductor materials
Annealing for 2-inch wafer research
Heat treatments of ceramics in an oxygen volume controlled atmosphere

■ 특징

■ 사양

모델	VHC-E410	VHC-P610	VHC-P616
온도 범위	실온 ~ 1400 ℃	실온 ~ 1200 ℃	실온 ~ 1200 ℃
시료 치수	φ15mm × 길이 100mm	φ50mm × 길이 100mm	φ50mm × 길이 150mm
균열 영역 (유지시 기준)	φ10mm × 80mmL	φ50mm × 길이 100mm	φ40mm × 120mmL
측정 분위기	대기, 가스 중, 진공 (진공 배기계는 옵션)
응용 프로그램	로터리 펌프 배기 세트 냉각수 순환 장치 특수 사양 장치로 고진공 대응도 가능