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적외선램프가열장치 QHC시리즈

태양전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 최적.
QHC 시리즈는 적외선골드이미지로와 온도컨트롤러를 조합, 석영 열챔버를 장착한 고속가열·고속냉각 장치입니다.
가열 조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다.

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■ Infrared Lamp Heating System QHC series

태양전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 최적.
QHC 시리즈는 적외선골드이미지로와 온도컨트롤러를 조합, 석영 열챔버를 장착한 고속가열·고속냉각 장치입니다.

가열 조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다.

For process development from solar cells to compound semiconductors.

The QHC series is a high-speed heating and cooling system, a combination of an Infrared Gold Image Furnace and temperature controller, compactly eqipped with a quartz thermal treatment chamber.

Heating operations can be performed on a PC and data can be easily managed.

■용도

태양전지기판의 열처리
수소 분위기에서 열처리
각종 재료의 기초 연구용 분위기 어닐링 · 열처리 시뮬레이터
가스 퀜칭 열처리
열사이클 시험, 열충격 시험
반도체 재료의 소성, 어닐링 조건 검토
2인치 웨이퍼 연구용 어닐링
세라믹의 O2 량 제어 분위기에서 열처리
Heat treatments of solar cell substrates
Heat treatments in a hydrogen atmosphere
Atmosphere annealing and thermal treatment simulations for basic research into various materials
Gas quenching heat treatments
Thermal cycle tests, thermal shock tests
Reviewing baking and annealing conditions for semiconductor materials
Annealing for 2-inch wafer research
Heat treatments of ceramics in an oxygen volume controlled atmosphere

■ 특징

고속가열에서 저속가열까지 다양한 조건 설정
다층 스텝 사이클 가열
가스 냉각 기구에 의한 고속 가스 퀜칭, 냉각 제어
컴퓨터에 의한 손쉬운 데이터 관리
Configure broad conditions from high-speed heating to low-speed heating
Multiple steps Cycled heating
High-speed gas quenching and cooling control by gas cooling mechanism
Convenient data management by PC

■ 사양

모델	QHC-E410	QHC-P610	QHC-P616
온도 범위	실온 ~ 1400 ℃	실온 ~ 1200 ℃	실온 ~ 1200 ℃
열처리 영역	φ15mm × 길이 100mm	φ50mm × 길이 100mm	φ50mm × 길이 150mm
균열 영역 (유지시 기준)	φ10mm × 80mmL	φ40mm × 80mmL	φ40mm × 120mmL
측정 분위기	대기, 가스 중, 가스flow 중, 진공 (진공 배기계는 옵션)
어플리케이션	로터리 펌프 배기 세트 냉각수 순환 장치 특수 사양 장치로 고진공 대응도 가능

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