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탁상형램프가열장치 MILA-700AR

냉각수를 사용하지 않는 탁상형 램프가열장치.
냉각은 공랭식 팬 채택으로 콘센트만 있으면 즉시 가열할 수 있습니다.
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■ Mini Lamp Annealer with air-cooling system MILA-700AR


냉각수를 사용하지 않는 탁상형 램프가열장치.
냉각은 공랭식 팬 채택으로 콘센트만 있으면 즉시 가열할 수 있습니다.
Mini Lamp Annealer with no use of cooling water.

As the cooling method is air-cooling with a fan, the heating operations can be easily started with just a wall outlet.

 

■ 용도

  • 웨이퍼, 화합물 웨이퍼의 고속가열
  • 광 CVD 기판가열
  • 온도 사이클 시험
  • 코팅 막의 내열성 평가
  • 유기 재료, 수지류의 가열 건조
  • High-speed heating of wafers, compound wafers
  • Photo CVD substrate heating
  • Thermal cycle tests
  • Heat resistance evaluations of coating films
  • Heating and drying of organic materials and resins

 

■ 특징

  • 50 ℃/s의 고속가열
  • 진공, 가스, 가스 flow, 대기중 및 임의의 분위기 선택
  • 정밀한 온도 컨트롤
  • 탁상형 컴팩트 디자인
  • 50 °C/s high-speed heating
  • Selectable atmosphere: vacuum, gas, gas flow, air
  • Precise temperature control
  • Compact, table-top design

 

■ 사양 

 모델

 MILA-700AR

 온도 범위

 실온 ~ 700 ℃

 램프

 25℃ / sec

 시료 치수

 사각 20mm × 두께 2mm

 측정 분위기

 대기, 진공, 가스flow

 어플리케이션

 진공배기장치 (로터리 펌프 세트)