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  • 탁상형램프가열장치 MILA-5000시리즈
    작은 샘플의 연구개발에 최적입니다. 고속 가열 · 고속 냉각, 클린 가열이 가능합니다. 다양한 분위기에서 가열 가능하며 온도 컨트롤러와 분위기 가변 챔버가 일체화된 소형 적외선 램프가열장치입니다. 가열 조작을 USB 연결을 통해 PC에서 간편하게 데이터 관리할 수 있습니다.​
  • 탁상형램프가열장치 MILA-5050
    이 장치는 시료 크기 50mm square까지의 열처리를 가능하게한 탁상형 램프가열장치입니다. 시료 치수 20mm square 까지의 가열장치로서 탁상형 램프가열장치 MILA-5000 시리즈를 출시 이후 많은 고객에게 애용하고 있지만, "좀 더 큰 시료의 열처리를 하고 싶다"는 고객의 요구에 부응하고 가열로 챔버 온도 컨트롤을 일체화한 컴팩트한 바디는 그대로, 50mm square까지의 열처리를 가능하게 했습니다.
  • 초고온램프어닐링장치 HT-RTA59HD
    SiC 등 고가의 시료나 기타 고융점 재료의 조각 시료를 스폿 가열에 의한 높은 반사효율로서 초고온 영역 1800 ℃까지 승온 가능한 탁상형 초고온 램프 어닐링 장치입니다.​
  • Spot집광형 적외선골드이미지로 MIRO시리즈
    MIRO시리즈는 회전타원 반사면에 동일한 회전타원 반사면을 가진 single 또는 double type chamber의 조합으로 극히 높은 반사율을 실현한 compact한 spot 집광형 골드 이미지 로입니다. ​​컴팩트타입으로 1800 ℃까지 승온 가능한 적외선 골드 이미지로입니다. ​존 멜팅 및 SiC 파워 디바이스의 기초 실험에 사용할 수 있습니다.
  • 단결정생성·Zone melting시험장치 FZM-1500
    이 장치는 spot 집광형 적외선골드이미지로 MR39H/D형을 이용한 시험장치입니다. 시료 회전기구와 로 본체의 상하 이동기구와 조합하여 단결정 생성 시험과 zone melting 시험이 가능한 탁상형 컴팩트한 시험장치입니다.​
  • 간이형 적외선램프가열장치 SSA시리즈
  • 적외선램프가열장치 QHC시리즈
    태양전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 최적. QHC 시리즈는 적외선골드이미지로와 온도컨트롤러를 조합, 석영 열챔버를 장착한 고속가열·고속냉각 장치입니다. 가열 조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다.
  • 적외선램프가열장치 RTP-6
    최대 6 inch 까지의 램프 어닐링 장치 개별 반도체 공정의 실리사이드형성 및 화합물 반도체의 공정 어닐링이 가능합니다.
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