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간이형 적외선램프가열장치 SSA시리즈

■ Simplified Infrared Lamp Heating System SSA series

 

적외선 골드 이미지로와 석영 챔버의 간이형 장비.

적외선 골드 이미지로 및 시료 홀더를 포함한 석영 챔버로 구성된 저렴한 가열 시스템입니다.

A simplified system with an Infrared Gold Image Furnace and a quartz chamber.

A low-cost heating system consist of an Infrared Golc Image Furnace and quartz chamber including a sample holder.

 

​■ 용도
  • 화합물 반도체 Alloying
  • Si, 화합물 반도체의 RTA
  • 세라믹 기판 위에 적층 재료의 소성로
  • 유리・세라믹 기판의 어닐링 로
  • Alloying of compound semiconductors
  • RTA of Si, compound semiconductors
  • Baking furnace for laminating materials on ceramic substrates
  • Annealing furnace for glass and ceramic substrates

 

■ 특징

  • 석영 챔버는 가스flow 타입 또는 진공 타입을 선택 가능 (표준은 가스flow 타입)
  • 옵션으로 가스flow 타입 및 진공 타입을 모두 동시에 선택 가능
  • As for the quartz chamber, gas flow type or vacuum type can be selectable (standard is gas flow type)
  • As option, combination of both types is possible.


■ 사양

 모델

SSA-E45P

 SSA-E410P

 SSA-P610CP

 온도 범위

실온 ~ 1400 ℃ (MAX)

 실온 ~ 1400 ℃ (MAX)

 실온 ~ 1200 ℃ (MAX)

열처리 영역

φ15mm × 50mmL

 φ15mm × 100mmL

 φ50mm × 100mmL

 균열 영역

(유지시 기준)

φ10mm ~ 40mmL

 φ10mm × 80mmL

 φ40mm × 80mmL

 측정 분위기

가스 플로 중, 진공 중, 대기

 어플리케이션

로터리 펌프 배기 세트 
냉각수 순환 장치