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  • 적외선램프가열장치 QHC시리즈
    태양전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 최적. QHC 시리즈는 적외선골드이미지로와 온도컨트롤러를 조합, 석영 열챔버를 장착한 고속가열·고속냉각 장치입니다. 가열 조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다.
  • 적외선램프가열장치 RTP-6
    최대 6 inch 까지의 램프 어닐링 장치 개별 반도체 공정의 실리사이드형성 및 화합물 반도체의 공정 어닐링이 가능합니다.
  • 적외선램프가열장치 RTP-mini
    Infrared lamp heating system 소형 칩, 2, 4, 6인치까지의 박판 웨이퍼의 고속가열 전용 프로그램 소프트웨어로 온도 레시피를 간편입력
  • 도전성 필름용 간이 전기 저항 측정 지그 P-TER
    IOT·각종 센서, 반도체 재료의 연구·유기 도전체 개발에서 활약. 프로브와 시료의 접촉을 안정시키는 구조로, 기존 기술로는 어려웠던 도전성 고분자 재료의 두께 방향 전기 저항률 측정실현
  • 초고정밀 레이저 열팽창계 SuperLIX
    1×10 -8 /K 이하의 팽창 정밀도. 세계 최고 초고정도 열팽창 측정
  • 소형 초임계 건조장치
    CO2를 사용하지 않는, 새로운 초임계건조장치를 실현 Compact Supercritical Dryer
  • 적외선램프어닐링장치 RTA시리즈
    2inch 에서 300mm까지의 고속 열처리. 유지까지 10초. 고속 가열 기술을 결집하여 연구 개발부터 생산용까지 고객의 요구에 부응하는 장비를 제공합니다. 최대 온도 1450℃의 고온 분위기에서 가열 가능합니다.
  • 분위기가변형 램프가열장치 VHC시리즈
    태양 전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 적합합니다. VHC 시리즈는 QHC 시리즈 기능과 더불어 진공배기시스템 및 피라니 진공계를 갖추고 있습니다. 가열조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다. 고객의 요구에 맞게 개조 가능합니다.
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